压力传感器的标定系统是由记录器、表格测试系统、显示器、标准发生器、以及待标定压力传感器所配接的信号调节器等组成。
对压力传感器进行标定,也就是确定压力传感器的测量精度,实际是依据实验数据来确定传感器的各项性能指标,因此压力传感器标定时,所用测量设备的精度要比待标定传感器的精度高一个数量级。通过这样标定,才能压力传感器才能获得可靠的性能指标,准确可信的精度。
1.零点输出及其热漂移系数
所谓零点输出就是指在某一参考温度和一定电激励(恒流源或恒压源供电)条件下,无外加压力时,压力传感器的输出。零点输出电压有时可以达到比满量程时输出电压还大。这时通过对力敏电阻电桥的某一特定温度是很容易实现的。重要的是指定温度范围的最大零点输出电压与满量程输出电压之比。如果此比值小于0.8%,则可认为这是相当好的传感器;如果大于4%,则零点输出便是相当大了。因此经温度补偿的压力传感器,零点输出电压通常应小于1~5mV。而相应满量程输出应达到100~150mV。
2.满量程输出及热灵敏度漂移
满量程输出是指在某一温度和一定激励电流或电压下,给压力穿昂起在规定的最大压力量程时的有效输出信号电压。满量程输出应尽可能大。在桥外10V激励电压下,一般可达到100~150mV以上。
质量较好的压力传感器,这与力敏电阻条的掺杂浓度及其布置密切相关。当力敏电阻布置在膜面上的应力最大的区域,才会有较大的满量程输出。一般大多数未经补偿的压力传感器,其热灵敏度漂移系数为负值,其数值一般为0.19%~0.24FS/℃。通过适当掺杂以及补偿技术可以改进灵敏度温漂。
如果采用+0.215%FS/℃,参考温度为25℃,则在15℃和35℃下,传感器的精度下降±0.5%FS。前面已提到,基本精度中不包括温度效应。代表某一参考温度(25℃)下非线性度、迟滞和重复性的误差影响。也就是说,在参考温度下测得的精度是传感器的基本精度。偏离参考温度时,便出现零点和灵敏度的热漂移,使精度进一步降低。因此需要用综合温度系数来反映温度对总精度的影响。
3.稳定性和重复性
稳定性和重复性都是指压力传感器经受力压力或温度循环时,在某一温度下重复测量规定量程内任何压力时输出值的一致性。重复性是短期指标,而稳定性则是长期指标。压力和温度满量程循环下的重复性是评价压力穿昂
稳定性便是一年内在一定参考条件(如一定温度)下,多次测量的误差相对于满量程输出的百分数。
4.迟滞
迟滞包括机械和热迟滞,是压力或温度什程和降程输出信号不一致的程度。将其定义为经过一个规定的机械和热循环(即压力或温度的升和降)后输出信号的最大误差。循环的范围必须是压力或温度的上、下限。
5.线性度
压力传感器的线性是指输出信号与输入压力之间关系曲线接近直线的程度。将压力传感器的输出电压与压力之间的关系曲线与直线的偏离量与满量程输出电压之比称为非线性误差是对校准曲线和所选择的拟合直线的共同评价,是两者一致性的共同描述。危险性误差对传感器来说不是一个确定量。对同一条校准曲线来说,拟合直线不同,非线性误差就不同。为了对压力传感器的校准曲线的线性进行评估,需要得到最佳拟合直线。他与校准曲线之间的最大偏差在所有可能的拟合直线中最小。
目前广泛应用的拟合直线有三种,即最小二乘以拟合直线、端点直线、零基准最小二乘以拟合直线。